Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
Impact of low thermal processes on reliability of high-k/metal gate stacks
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BSO - Titre
Impact of low thermal processes on reliability of high-k/metal gate stacks
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DOI
DOI
10.1116/1.4973905
XX
DOAI
DOAI
10.1116/1.4973905
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Identifiant WoS
WOS:000395468500014
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Accès ouvert
OA - Non
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Non OA
XX
Editeur
American Vacuum Society
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Source
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
XX
ISSN
1071-1023
XX
Type de document
Article
XX
Notoriété
2 - Acceptable
XX
CNRS
Oui
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CNRS - Institut
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
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uid:/PBP6J348
12/10/2021 14:52:37 (latest)
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